东方网7月1日消息：总投资2亿元的沈阳IC装备制造基地于昨日启动，这次启动的“真空零部件加工”和“零部件清洗线”两个项目由中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司投资兴建，占地面积100亩，建设周期两年。

    主要产品为功能部件制造、超洁净真空获得系统制造、IC装备子系统集成制造、零部件及整机合同制造；为IC生产线提供技术支撑与售后服务；配合国际知名IC装备制造商开发下一代低纳米级工艺设备。

    项目建成后可解决2000人的就业问题。预计2006年可实现产值2亿元，实现利税4000万元；2007年实现产值5亿元，实现利税1亿元；2008年实现产值10亿元，实现利税2亿元，产值4年翻5番。